keysight 1077 長距離直線度光器件

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描述

Keysight 1077 結合了直線度干涉儀和反射鏡，可在 1 至 30 米（3 英尺至 100 英尺）的行程距離內進行測量。 該光器件構成了一個高度的光學直角尺，可以測量機床行程和坐標測量機運動的直線度，分辨率為 0.1 微米（10 微英寸）。

Keysight 1077（與 Keysight 5530 校準系統配合使用）是一個大型元器件，可對干涉儀系統進行量身定制以滿足每個應用的物理版圖和測量要求。

直線度測量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測量精度。

與使用直角尺和指示器進行直線度測量的傳統方法類似，光參考精度相當于直角尺精度，而測量精度相當于指示器精度。

光參考精度

直角尺（反射鏡）反轉技術可消除光參考不確定度。

公制單位模式： ±0.015 M2 µm

英制單位模式： ±0.05 F2 µin

其中：

M = 移動光器件的行程距離（單位：米）。

F = 移動光器件的行程距離（單位：英尺）。

測量精度

溫度范圍顯示值：

0 µm 至 100 µm，100 至 1,500 µm

0 µm 至 4000 µm，4000 至 60,000 µm

15°C 至 25°C，±5%±2.5%±02.55 µm（10 µin）

0°C 至 40°C，±7.5%±2.5%±5 µm（20 µin）

直線度測量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

0.1 µm（4 µin）、36 µm（14 µin）

直線度測量范圍（正交至軸向移動）

±1.5 mm（0.060 英寸）

軸向分離（移動）

（干涉儀和反射鏡之間的距離，典型值，經過恰當的對準，15°C 至 25°C）： 1 m 至 30 m（3 英尺至 100 英尺）

對空氣擾動的反應具有高精度和低靈敏度

可與 Keysight 55283A 直線度測量套件配合使用，以擴展距離范圍

高分辨率平面鏡

適用于各種是德系統（包括 Keysight 5530 校準器系統）